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大面積多晶光學(xué)金剛石窗口解決方案

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

我公司提供大面積多晶光學(xué)級(jí)金剛石窗口（100-150mm）解決方案：步：生長(zhǎng)1.襯底準(zhǔn)備，包括：選材、襯底表面處理、晶種及相關(guān)工藝2.生長(zhǎng)控制：采用CVD設(shè)備，將準(zhǔn)備好的襯底放入樣品臺(tái)，在適當(dāng)?shù)墓に嚄l件下生長(zhǎng)（控制功率、氣壓、流量、襯底溫度、生長(zhǎng)時(shí)間）

詳細(xì)介紹

我公司提供大面積多晶光學(xué)級(jí)金剛石窗口（100-150mm）解決方案：

步：生長(zhǎng)

1. 襯底準(zhǔn)備，包括：選材、襯底表面處理、晶種及相關(guān)工藝

2. 生長(zhǎng)控制：采用CVD設(shè)備，將準(zhǔn)備好的襯底放入樣品臺(tái)，在適當(dāng)?shù)墓に嚄l件下生長(zhǎng)（控制功率、氣壓、流量、襯底溫度、生長(zhǎng)時(shí)間）。

3. 生長(zhǎng)完成：在獲得設(shè)定的厚度后停止生長(zhǎng)

可獲得光學(xué)級(jí)（透過率＞68%@10.6μm）、大面積（直徑100-150mm）、厚片（1.2-2mm）

第二步：拋光

采用專門的拋光設(shè)備+特制拋光液進(jìn)行研磨、磨平、拋光。

可獲得：1) 單晶表面粗糙度1nm，平整度0.2波長(zhǎng)；2）多晶窗口表面粗糙度20-50nm，平整度0.2波長(zhǎng)。

第三步：切割

采用專用激光切割機(jī)，可獲得長(zhǎng)方形、三角形、圓片等規(guī)則高精度形狀光學(xué)元件。