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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
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更新時間：2022-10-14 12:19:52瀏覽次數(shù)：123次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工機械設(shè)備網(wǎng)關(guān)鍵詞：RIE、RIBE、反應(yīng)離子束刻蝕、CAIEB、化學(xué)輔助離子束刻蝕、過渡金屬、磁性材料、MRAM、GMR、TMR、Pt、Cu、TeGe、PZT型號：MU700S;產(chǎn)地：歐洲
關(guān)鍵詞：RIE、RIBE、反應(yīng)離子束刻蝕、CAIEB、化學(xué)輔助離子束刻蝕、
過渡金屬、磁性材料、MRAM、GMR、TMR、Pt、Cu、TeGe、PZT
型號：MU700S; 產(chǎn)地：歐洲；
應(yīng)用：過渡金屬, PZT, 磁性材料(MRAM, GMR, TMR), Pt, Cu, TeGe 等;
代表性用戶：法國科學(xué)研究中心（CNRS）、意法半導(dǎo)體（ST）
RFICP源：束徑可達(dá) 220 mm
采用分子泵或低溫泵+干泵組合真空系統(tǒng)
均勻性：+/- 5% on 290 mm襯底
水冷樣品臺，襯底尺寸可達(dá)直徑300mm
樣品臺可以傾斜和旋轉(zhuǎn)
配套SIMS用于刻蝕監(jiān)控
配置Load Lock
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