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高品質大面積激光鏡面鍍膜系統(直徑350mm晶圓)

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2022-10-15 09:48:18瀏覽次數:191次

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商鋪產品:87條

所在地區:上海上海

產品簡介

高品質大面積光學薄膜沉積系統1.主腔體:圓柱形304不銹鋼、長方形前門、2個觀察窗口、大約1000L2.真空系統:螺旋泵80m3/h+低溫泵10,000l/s(N2)3.離子源:RF耦合(2MHz),filament-free離子源用于惰性氣體和氧氣束徑100mm

詳細介紹

高品質大面積光學薄膜沉積系統

 

1.       主腔體:圓柱形304不銹鋼、長方形前門、2個觀察窗口、大約1000L

 

2.       真空系統:螺旋泵80m3/h+低溫泵10,000 l/s (N2)

 

3.       離子源:RF耦合(2MHz), filament-free離子源用于惰性氣體和氧氣

                         束徑100mm, 電流>200mA,電子能量1-2 KeV

                        工藝氣體:4個流量控制機,用于氧氣、稀有氣體

                        Ar等離子體,電子束流500mA

      3a.     離子源升級:代替標準離子源(3)

                                RF耦合(2MHz), filament-free離子源用于惰性氣體和氧氣

                                束徑150mm,電流大于500mA,電子能量大于1 KeV

                                工藝氣體:4個流量控制器,用于氧氣、稀有氣體等

                                Ar等離子體,電子束流900mA

      3b.     輔助離子源:RF耦合(2MHz), filament-free離子源用于Ar和氧氣

                                      工藝氣體:2個流量控制器,氧氣和稀有氣體

                                束徑100mm,離子能量200-1000 eV,束流0-200mA

 

4.                 400m×200mm (標準3);400mm×250mm(選項3a)

                              標準材料:Ta>99.998%,Si>99.999%

      4a.      可選靶  200mm×200mm 或200mm×250mm     

                              材料:Nb>99.95%, HfO2>99.99%, Al>99.999%, Ti>99.99%

                              更高純度或其他材料可以提要求

 

      5   樣品臺        平面、真空兼容Al樣品臺

                              Bottom-up coating 法

                              沉積區域直徑200mm(標準3)、沉積區域直徑350mm(選項3a)

                              旋轉速度0-120rpm

      5a.         Load Lock可選  

                    直徑400mm,加載重量5kg

                    螺旋泵+分子泵抽高真空

                    手動加載,自動送樣

      5b.        襯底加熱可選    

                   石英加熱器,最小功率1.6KW,襯底溫度280℃

                   采用熱電偶控溫

 

       6.    OMS               波長范圍380-1050nm

                                     波長分辨率2nm

                                     測量誤差補償<0.2%

                                     測量誤差噪音<1%峰值(@650nm)

                                     全自動控制

                                     積分時間:2ms

 

       6a.    DUV可選          DUV延長寬波段OMS

                                        波長范圍230-380nm

                                        波長分辨率2nm

                                        測量誤差補償<2%

                                        測量誤差噪音<1%峰值(@350nm)

                                        積分時間:10ms

 

        6b.     IR可選           波長范圍900-1700nm

                                        波長分辨率5nm

                                        測量誤差補償<2%

                                        測量噪音<1%峰值(@1200nm)

                                        積分時間:12ms

 

        7     系統性能表現:

                       真空度    基準真空度<3×10-7mbar

                                      工作氣壓<1×10-3mbar

                       標準靶     沉積速率0.15nm/s (Ta2O5, SiO2) @200mm直徑 (標準3)

                                       沉積速率0.15nm/s (Ta2O5, SiO2) @350mm直徑(3a選項)

                       薄膜均勻性         優于±1%@<直徑200mm(標準3)

                                                   優于±1%@<直徑350mm(選項3a)


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