? 光闌：f/50 ? 光譜解析能力：2.5 Mio.-10 Mio. (λ/?λFWHM) ? 波長(zhǎng)范圍：157-1,100 nm (λmax range) ? 同步探測(cè)范圍：8-400 pm (λsimul) ? 波長(zhǎng) 范圍：190-550 nm (λtyp) ? 分辨率：85-240 fm (FWHM)

詳細(xì)介紹

ELIAS-III

發(fā)射譜線分析光譜儀系列

高分辨率的中階梯光柵光譜儀

的中階梯光柵光譜儀，在利特羅（Littrow）結(jié)構(gòu)中擁有的光譜解析能力-用于高分辨率的發(fā)射和吸收譜線的分析，尤其是準(zhǔn)分子激光光刻技術(shù)。

· Intensity dynamics of up to 4 orders

· 光譜解析能力 (2.5 million-10 million)

· 成像質(zhì)量

· 簡(jiǎn)單沒(méi)有失誤的操作控制

· Motorized optomechanics

elias光學(xué)方案.jpg

ELIAS的超高分辨率得益于超大中階梯光柵的應(yīng)用及與之匹配的光路設(shè)計(jì)——中階梯光柵通過(guò)非常高的衍射級(jí)次可獲得的理論分辨率（femtometer level）；LTB的工程師通過(guò)兩個(gè)方面的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)超大中階梯光柵的理論分辨率：

· 逼近衍射極限的消色差成像光路

· 足夠高的線色散來(lái)確保以5~10個(gè)像素（CCD）來(lái)解析光譜譜線的半高寬；

ELIAS利用寬達(dá)360mm的超大中階梯光柵（Echelle grating）以利特羅（Littow）自準(zhǔn)直結(jié)構(gòu)構(gòu)成光路；ELIAS不同于靠干涉方式測(cè)量光譜的分析設(shè)備，ELIAS的中階梯光柵的高衍射級(jí)次及高級(jí)次等效于零級(jí)的衍射能量分布，可通過(guò)CCD實(shí)現(xiàn)寬光譜直拍，因此ELIAS非常適合脈沖激光光譜的分析應(yīng)用（通過(guò)外部TTL觸發(fā)可協(xié)同激光器工作）。ELIAS可以配置背照型科學(xué)級(jí)CCD作為探測(cè)器可獲得非常理想的信噪比（10⁴）

規(guī)格參數(shù)（Specifications）

可探測(cè)信號(hào)模式	CW/Pulsed
可探測(cè)光譜范圍	190~1100nm(157nm possible)
光譜解析能力(λ/?λ)	8,800,000
光譜分辨率	22fm@193nm
光譜精度	0.1pm
光譜窗口	>0.8nm
可探測(cè)脈沖能量	<10μJ
信號(hào)輸入模式	Fiber，SMA，Mirror，F(xiàn)ree Space
校準(zhǔn)方式	full auto/Manual；Hg（Neon）Lamp
觸發(fā)模式	TTL+5V
工作環(huán)境要求	溫度：10~30℃；濕度：<65%

ELIAS III : 集成了反光鏡的ELIASII的增強(qiáng)型，可以使用四次中階梯光柵，使得其光譜分析能力是ELIASII的四倍。

Model	ELIAS III
Pass	quadruple
Wavelength [nm]	λsimul [pm]
157	-
193	8.4
248	11.5
266	15
532	29.9
766	47.5
1,064	101
Wavelength [nm]	FWHM [pm]
157	-
193	0.022
248	0.032
266	0.042
532	0.084
766	0.130
1,064	0.165