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微型真空探針臺-探針座等實驗室方案

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更新時間：2025-01-08 09:48:48瀏覽次數(shù)：36次

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產(chǎn)品簡介

微型真空探針臺-探針座等實驗室方案精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

詳細介紹

微型真空探針臺-探針座等實驗室方案精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

該微型真空探針臺-探針座等實驗室方案設(shè)計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學(xué)信號。

760-1-2_副本.jpg

真空探針臺-2-760.jpg

溫控器
加熱溫度	35-350℃
溫控誤差	±1℃
熱電偶類型	PT100高精度傳感器
溫控表	宇電溫控器
程序控溫	1段（可選30段程序控溫表）
加熱功率	≤300W
加熱電源	AC220v
尺寸	230x230x125MM
重量	6kg
真空探針熱臺
腔體材質(zhì)	304不銹鋼
加工方式	一體式CNC精加工
內(nèi)腔體尺寸	137X57X21mm 容積165ML
加熱臺尺寸	Φ30mm
觀察窗內(nèi)徑	Φ46mm
觀察窗材質(zhì)	高透光石英玻璃
加熱溫度	400℃ 注意：熱臺溫度和樣品溫度存在偏差客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺面測量熱電阻值對應(yīng)分度值做校準(zhǔn)。
信號輸出頭	SMA母頭配線 SMA轉(zhuǎn)BNC 1.5米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 500V
抽氣口	KF16
進氣口	6MM卡套
使用正壓	≤O.05MPa
使用負壓	機械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa
觀察窗內(nèi)徑	φ45
移動探針
探針規(guī)格	探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm
上下移動距離	2mm
前后移動距離	20mm
左右旋轉(zhuǎn)距離	120°