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| 載荷 | |
| 大載荷 | 30 N |
| 分辨率 | 6 μN |
| 本底噪音 | <100 [rms] [μN]* |
| 位移 | |
| 大位移 | 1000 μm |
| 分辨率 | 0.03 nm |
| 本底噪音 | <1.5 [rms] [nm]* |
| 載荷框架剛度 | > 107 N/m |
| 國際標準 | ISO 14577, ASTM E2546, ISO 6507, ASTM E384 |
*理想實驗室條件下規定的本底噪音值，并使用減震臺。
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