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當前位置:青島佳鼎分析儀器有限公司>>光刻機>> 二手尼康Nikon ArF浸沒式光刻機NSR-S621D
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更新時間:2023-02-25 14:25:54瀏覽次數:194次
二手現貨ASML ARF光刻機 XT:1700Fi
二手現貨Nikon ARF光刻機NSR-S220D
二手Nikon arf光刻機S635E
二手Nikon ArF浸入式掃描 光刻機NSR-S631E
二手尼康Nikon 14年產 ARF浸入式光刻機 NSR-S630D
詳情介紹
NSR-S621D 已開發用于大批量制造 22 nm 工藝節點(能夠通過進一步提高久經考驗的 NSR-S620D 的精度和生產率來處理雙圖案*1 )。尼康計劃將 NSR-S621D 定位為其旗艦工具并擴大銷售。
Nikon ArF浸沒式光刻機NSR-S621D經過驗證的Streamlign平臺,實現了2nm的疊印精度和200wph的吞吐量,并在硬件和軟件方面進一步改進,為客戶的生產線提供和高效的解決方案。
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