Nikon ARF浸入式光刻機 NSR-S630D進一步提高了NSR-S622D的精度和生產率，它采用了以高精度和生產率著稱的流線型平臺，適用于10納米范圍內的工藝量產（多重圖案化*1適配）。它是一種開發設備。除了進一步提高在多重圖案化工藝中很重要的重疊精度外，還提高了產量。

ARF浸入式光刻機NSR-S630D通過提高投影鏡頭性能、使用光柵尺位置測量編碼器以及改進溫度空調系統，實現了更高的吞吐量以及MMO * 2的進一步改進。以2.5納米以下的MMO和每小時250張（96次）的吞吐量實現了的精度和生產率，有助于客戶設備生產線的穩定量產。

Streamline 平臺的主要特點

1. 顯著提高疊加精度的測量系統：Bird's Eye Control

除了已經采用的結合編碼器和干涉儀的混合系統用于晶圓載物臺位置測量外，還使用二維編碼器進行分劃板載物臺位置測量，以減少空氣波動對每個位置測量的影響舞臺... 結果，疊加精度得到了很大的提高。

2. 顯著提高吞吐量的新測量技術：Stream Alignment

五眼* 3的FIA（現場圖像對準）可在短時間內進行對準測量。即使在測量靠近所有鏡頭的多個點時，也可以限度地減少吞吐量的下降。

• * 3FIA 5 眼型：對準顯微鏡已從傳統的 1 眼型更改為 5 眼型（5 單元型）。

3. 提高可維護性的新模塊化結構：Modular 2 Structure

通過使設備配置成為分層模塊化結構，客戶現場的啟動時間縮短了，零件更換變得更加容易。結果，可維護性得到了極大的提高。