PVA TEPLA / TECHNICS 300 AUTOLOAD PC刻蝕機，2007年設備，可對6-8英寸的晶圓進行蝕刻工藝加工處理

制造商:PVA TEPLA / TECHNICS

型號:300 AUTOLOAD PC

類別:ETCHERS / ASHERS

年份:2007

晶圓尺寸:6"-8"

設備詳細信息:

微波等離子批處理系統，6"-8"

當前配置用于 6"

PC 控制器

批量大小：(25) 每個負載的晶圓

陶瓷腔室（φ x 深度）：9.6" x 15"

微波頻率：2.45 GHz

功率：1000 W

( 4) 氣體通道

MFC 校準 N2

1000 SCCM

MKS Baratron 電容壓力計