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上海續波光電技術有限公司
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關鍵詞：電子束蒸鍍、熱蒸鍍、離子束輔助沉積、高真空鍍膜設備、光學監控系統、OMS、金屬膜、氧化膜、IBAD、IBD、光學薄膜、紫外、紅外膜、增透膜、增反膜、二氧化硅/鋁復合膜熱蒸發源：多個電子束蒸發源：多坩堝高真空系統：低溫泵+干泵
關鍵詞：電子束蒸鍍、熱蒸鍍、離子束輔助沉積、高真空鍍膜設備、光學監控系統、OMS、 金屬膜、
氧化膜、IBAD、IBD、光學薄膜、紫外、紅外膜、增透膜、增反膜、二氧化硅/鋁復合膜
熱蒸發源：多個
電子束蒸發源：多坩堝
高真空系統：低溫泵+干泵，真空度＜10-7 Torr
樣品臺：可接納4個6英寸襯底
膜厚檢測系統：多個晶振檢測探頭
沉積速率分辨率：0.01A/s
離子束輔助沉積
光學監控系統：多個探頭、多波段。
監控范圍：220nm-2200nm
高精度鍍膜
電腦控制：全自動軟件
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