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上海續波光電技術有限公司
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關鍵詞：單層膜、多層膜、磁性膜、光學膜、金屬膜、絕緣膜、半導體膜連續沉積、進口磁控濺射、SiO2、ZrO2、TiO2、DC靶、RF靶型號：MP900S產地：歐洲應用：單層膜、多層膜、磁性膜配置多個可更換金屬靶：Ni
關鍵詞：單層膜、多層膜、磁性膜、光學膜、金屬膜、絕緣膜、半導體膜
連續沉積、進口磁控濺射、SiO2、ZrO2、TiO2、DC靶、RF靶
型號：MP 900S 產地：歐洲 應用：單層膜、多層膜、磁性膜
配置多個可更換金屬靶：Ni, Pt, Al, NiCr, Au, Ge, Ti, TaN
襯底雙行星運動，可加載4英寸襯底
LOAD LOCK及主腔體均配備分子泵和干泵
可沉積多層膜，可原位應力檢測
應用于X-射線等領域.
6個高度可調陰極磁控管
3個1.5kW直流靶，3個1kW射頻靶
氬氣、氧氣、氮氣氣路，分別配備MFC
全自動電腦控制，半自動和手動模式可用，支持遠程維護
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