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微納（香港）科技有限公司
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?產品簡介 ?產品特性 ? 落地式薄膜沉積系統，模塊化設計 ? 多達6個磁控濺射源，DC與RF可選，用于金屬及絕緣層鍍膜，濺射靶角度連續可調，可獨立/依次/共同濺射 ? 多達10個熱蒸發源，電阻熱蒸發源與低溫熱蒸發源可選，用于金屬及有機物鍍膜 ? 多坩堝電子束源，用于難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料 ? 標配預真空鎖，實現高真空環境下的樣品傳遞 ? 可支持11英寸樣品 ? 樣品臺：可加熱（800℃），冷卻，旋轉，升降，偏壓，行星式襯底夾具 ? 可加4路反應氣體，Ar，N2，O2可選配有MFC控制 ? 配置高精度真空規進行壓力全自動控制，真空度低至 <5 × 10-7 mbar ? 配置Inficon SQC-310膜厚測量儀用于薄膜厚度監測 ? 操作簡單：通過觸屏或計算機實現全自動操作 ? 自定義并可存儲多個recipe ? 操作安全：自帶各種軟硬件互鎖功能 ? 售后維護簡單 ? 兼容手套箱與潔凈間 ? 可選配離子源：用于樣品預清洗及納米表面改性 ? 可選配高溫退火系統 ?應用： 該系統用于半導體材料、OLED實驗研究及有機太陽能薄膜電池實驗研究。廣泛應用于高校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。
MiniLab125是英國MOORFIELD公司一款落地式大尺寸PVD綜合鍍膜系統，采用模塊化設計，可在一臺儀器上實現電子束蒸發鍍膜，常規電阻熱蒸發鍍膜，低溫熱蒸發系統及磁控濺射鍍膜,可用于鍍金屬膜，有機物薄膜及絕緣材料的單層或者多層功能膜與復合膜，同時該系統還可加載等離子源，刻蝕系統與退火系統，是小批量鍍膜客戶的理想選擇。
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