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伯東企業（上海）有限公司
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應用十五、氦質譜檢漏儀用于電磁閥檢漏
德國Pfeiffer HLT 560 氦質譜檢漏儀用于電磁閥閥芯檢漏應用案例—深圳某事業有限公司
一、 電磁閥閥芯檢漏原因:
該客戶是為日本某半導體設備廠生產精密零件鐳射焊接（電磁閥閥芯）,一共有5個型號,月產量2000-3000個閥. 精密零件鐳射焊接（電磁閥閥芯）產品如下圖:
二、 電磁閥閥芯檢漏方法
大概的檢測過程為:來料用放大鏡目視檢測,鐳射焊接完成后再目視檢測,最后用氦氣質譜檢漏儀做最后檢測,漏率值以氦氣檢漏儀測出的資料為準.
客戶以前用的是日本某品牌的檢漏儀,現在新上的項目都改為德國Pfeiffer的HLT 560這一款檢漏儀,這是因為,只有德國Pfeiffer的HLT 560能滿足這么高的漏率值測試,且資料可靠.另外還具有操作簡單,生產效率高的優點.
三、電磁閥閥芯檢漏操作說明
由于半導體工業上用的氣體如矽烷( SiH4), 氨氣(NH3)等等都是有毒或有腐蝕性的氣體,所以對所用的閥及相關部件, 漏率要求非常嚴格, 要求成品最終漏率低于5-10 mbar l / s, 而這樣的漏率要求也只有氦質譜檢漏儀能達到了.
1),先將閥接入工裝,形成一個密閉的腔體.再將檢漏儀連接到工裝上.
2),啟動氦質譜檢漏儀, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時顯示一個漏率值.
3),在鐳射焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣,同時觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無變化.
4),如果漏率值上升,說明噴氦氣的地方有漏,該被檢對象品質不合格.如果漏率值能達到要求,該被檢物件合格,檢漏檢測完成.
應用十六、氦質譜檢漏儀用于直通閥檢漏
一、閥門檢漏需求
閥門的密封性能是考核閥門品質優劣的主要指標之一. 所以在設計生產閥門時就
要提高其密封性能, 并且在出廠前道工序應對閥門做密封性檢測. 目前國內
許多閥門廠家使用水檢法和氣壓法進行氣密性檢測, 但是使用此方法只能檢到漏孔
比較大的情況, 一般最小可檢漏率1X10E-3 mbar l/s. 但隨著客戶對產品品質要求
的不斷提高, 水檢法和氣壓法已經無法滿足要求. 為了保證產品競爭, 許多廠家引
進了氦氣檢漏儀, 對于目前常用的檢漏方法, 氦氣檢漏法被*為可靠的方法之一.
而德國Pfeiffer 氦質譜檢漏儀具有體積小、重量輕、內部模組化設計、檢測維修方便、
使用簡單、一鍵式操作等優點受到廣大客戶的青睞.
上海閥特流體主要生產銷售各種自動控制閥門, 部門產品出口到國外. 如下圖所示
為該司生產的直通閥, 用于有毒氣體設備, 為了作業人員安全及避免環境污染, 客戶
要求出廠前對閥門做氣密性檢測.
二、閥門檢漏方法
Pfeiffer HLT 系列氦質譜檢漏儀同時擁有兩種檢漏模式, 真空模式 (vacuum mode)
及正壓模式 (sniffer mode), 可根據客戶不同需求, 選擇不同的檢漏方法. 閥門多
采用檢漏儀的負壓模式既真空模式檢漏, 其最小可檢查漏率為5X10-12 mbar l/s.
三、閥門檢漏操作
1. 如下圖所示, 工作人員用波紋管連接待檢測的直通閥與德國Pfeiffer HLT 560
氦質譜檢漏儀.
2. 啟動DUO 旋片泵, 直通閥抽真空, 同時啟動氦質譜檢漏儀并顯示一個漏率值. 當旋片泵
抽真空到達一定真空度（背壓為 25 mbar業界）時, 可以進行檢漏操作.
3. 如下圖工作人員向直通閥密封處和懷疑有漏的地方噴氦氣, 同時觀察檢漏儀上顯示的
漏率值有無變化.
4. 如果漏率值上升, 說明噴氦氣的地方有漏, 該被檢對象品質不合格. 如果漏率值能
達到要求, 該被檢物件合格, 檢漏檢測完成.
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