光譜共焦位移傳感器
測量能力——可滿足更多的測量需求
1.THINKFOCUS 光譜共焦位移傳感器 CDS-500光斑更小。

2.THINKFOCUS 光譜共焦位移傳感器 CDS-500 無平均化處理。

3.THINKFOCUS 光譜共焦位移傳感器 CDS-500 可同時適應多種材料,且穩定測量。

主要型號參數
OP2-Fc 安裝距離:11mm 量程:±190 線性度:±0.02%F.S. 分辨率:10nm 光斑:10um |  | OP3-Fc 安裝距離:12.7mm 量程:±550 線性度:±0.02%F.S. 分辨率:20nm 光斑:12um |  |
OP4-Fe 安裝距離:19mm 量程:±1700 線性度:±0.02%F.S. 分辨率:40nm 光斑:20um |  | OP5-Fe 安裝距離:30mm 量程:±5000 線性度:±0.02%F.S. 分辨率:300nm 光斑:25um |  |
規格/測頭
型號With CDS-500 | | OP1 | OP2 | OP3 | OP4 | OP5 |
安裝距離 | mm | 8 | 11 | 12.7 | 19 | 30 |
量程 | μm | ±55 | ±190 | ±550 | ±1700 | ±5000 |
傾角 | deg | ±45° | ±28° | ±25° | ±21° | ±14° |
放大器型號 | | Fc | Fc | Fc | Fe | Fe |
光斑尺寸 | μm | 2 | 10 | 12 | 20 | 25 |
位移測量 | | |
分辨率(平均128次) | nm | 2 | 5 | 10 | 20 | 150 |
精度 | | ±0.02%F.S. | ±0.02%F.S. | ±0.02%F.S. | ±0.02%F.S. | ±0.02%F.S. |
厚度測量 | | |
最小厚度測量 | μm | 5 | 12 | 22 | 66 | 192 |
厚度測量 | μm | 100 | 460 | 1540 | 4390 | 14850 |
長度 | mm | 208 | 176 | 176 | 130.5 | 145.5 |
直徑 | mm | 27/40 | 27 | 27 | 27 | 27 |
規格/控制器
型號 | CDS-500 |
采樣頻率 | 200 to 4500 points/sec 用戶可定義 |
光源 | 藍色激光 |
測量模式 | 位移/厚度 |
通訊控制 | 以太網 |
編碼器 | 增量式(A/B項) |
同步I/O | 1 Trigger input(TTL)5V |
光纖連接器 | FC/APC |
兼容性 | 兼容所有型號測頭 |
電源/功耗 | 24V DC 3A |
工作溫度 | 5℃-40℃ |
放置溫度 | -30℃-70℃ |
相對濕度 | 5%-80%無冷凝 |
防護等級 | IP 40 |