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電子超純水設(shè)備

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產(chǎn)品簡介

此套超純水設(shè)備主要用于電子行業(yè)，與五金電鍍、表面處理等行業(yè)不同的是，電子行業(yè)用超純水設(shè)備對(duì)水質(zhì)要求相對(duì)嚴(yán)格，一般需要采用EDI工藝

詳細(xì)介紹

此套超純水設(shè)備主要用于電子行業(yè)，與五金電鍍、表面處理等行業(yè)不同的是，電子行業(yè)用超純水設(shè)備對(duì)水質(zhì)要求相對(duì)嚴(yán)格，一般需要采用EDI工藝。電子半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，線寬越窄，對(duì)水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級(jí)，分別為18M?.cm、15M?.cm、10M?.cm、2M?.cm、0.5M?.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

電子行業(yè)超純水用水標(biāo)準(zhǔn)：（以下資料僅供參考，實(shí)際操作中以顧客所在具體行業(yè)、產(chǎn)品清洗用水要求進(jìn)行工藝流程設(shè)計(jì)）

指標(biāo) 名稱	一級(jí) 水（EW-1）	二級(jí) 水（EW-2）
電阻率MΩ.CM. （25℃）	18(95‰時(shí)間)不低于17	15(95‰時(shí)間)不低于13
硅　　　≤μg/L	2	10
＞1μm　微粒數(shù)	0.1	5
細(xì)菌個(gè)數(shù)　≤個(gè)/ml	0.01	0.1
銅　　　≤μg/L	0.2	1
鋅　　　≤μg/L	0.2	1
鎳　　　≤μg/L	0.1	1
鈉　　　≤μg/L	0.5	2
鉀　　　≤μg/L	0.5	2
氯　　　≤μg/L	1	1
硝酸根　　≤μg/L	1	1
磷酸根　　≤μg/L	1	1
硫酸根　　≤μg/L	1	1
總有機(jī)碳　≤μg/L	20	100

電子工業(yè)制備超純水設(shè)備的工藝大致分成以下3種：
1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床（復(fù)床）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)
2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合制備電子工業(yè)超純水的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→混床（復(fù)床）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)
3、采用反滲透設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備進(jìn)行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕浠竟に嚵鞒虨椋涸嘟橘|(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)

次套超純水設(shè)備采用雙極反滲透+EDI系統(tǒng)：原水—原水箱—原水泵—絮凝加藥系統(tǒng)—石英砂過濾器—活性炭過濾器—軟化器—阻垢加藥系統(tǒng)—保安過濾器— 一級(jí)高壓泵—中間水箱— PH調(diào)節(jié)— 二級(jí)高壓泵— 二級(jí)反滲透— 純水箱—EDI增壓泵—紫外線殺菌器—EDI系統(tǒng)—超純水箱—超純水增壓泵—精混合床—微孔過濾器—用水點(diǎn)

功能簡介：

（1）石英砂過濾器：吸附水中的鐵銹、泥砂、大顆粒雜質(zhì)降低濁度以保證下級(jí)過濾的效果

（2）活性炭過濾器：吸附水中的膠體、有機(jī)物、漂白粉等有機(jī)溶劑，保證下級(jí)過濾效果
（3）軟水器：除去水中的鈣鎂等離子，保證下級(jí)過濾效果，延長反滲透主機(jī)中膜組件的使用壽命
（4）反滲透主機(jī)：通過膜組件有效地去除水中的溶解鹽類、膠體、微生物、有機(jī)物等，生產(chǎn)純水
（5）EDI：又稱連續(xù)電除鹽技術(shù)，是通過陽陰離子膜對(duì)陽陰離子的選擇透過作用以及離子交換樹脂對(duì)水中離子的交換作用，在電場的作用下實(shí)現(xiàn)水中離子的定向遷移，從而達(dá)到水的深度凈化除鹽，并通過水電解產(chǎn)生的氫離子和氫氧根離子對(duì)裝填樹脂進(jìn)行連續(xù)再生。

（6）紫外線殺菌器：快速有效的殺滅各種細(xì)菌，病毒等微生物并降解水中氯化物

（7）精制混床：裝置羅門哈斯拋光樹脂，進(jìn)一步提高水質(zhì)（純水經(jīng)過DEI后可達(dá)16兆，經(jīng)過精混后可達(dá)18兆以上）

（8）0.2μm精密過濾器：高效能去除水、油霧、固體顆粒，99%去除0.01μｍ及以上顆粒、油霧濃度控制在0.01ppm/wt

電子行業(yè)生產(chǎn)：如單晶硅、半導(dǎo)體、集成電路塊、IC芯片封裝、彩色顯像管、玻殼、液晶顯示器、印刷電路板等生產(chǎn)工藝所配套純水、超純水系統(tǒng)。

(1)系統(tǒng)采用全不銹鋼配置，運(yùn)行穩(wěn)定，精致美觀，操作簡單方便；

(2)配備有原水箱、中間水箱，配備液位器裝置，防止因自來水壓力不穩(wěn)定對(duì)設(shè)備造成影響；
(3)配備專用無菌水箱，配備壓力式液位計(jì)，旋轉(zhuǎn)噴淋清洗及空呼吸裝置；

(4)配備有水箱進(jìn)水電磁閥，比常規(guī)的浮球進(jìn)水閥性能穩(wěn)定；

(5)配備軟水器，并配備有專用鹽箱；

(6)采用雙級(jí)反滲透系統(tǒng)配置，確保系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行；

(7)配備有PH調(diào)節(jié)及在線檢測系統(tǒng)，計(jì)量泵，調(diào)節(jié)PH值，防止CO2 對(duì)產(chǎn)水水質(zhì)的影響；

(8)采用進(jìn)口海德能超低壓反滲透，脫鹽率高，使用壽命長，運(yùn)行穩(wěn)定，能耗下降20%；

(9)反滲透通過膜設(shè)計(jì)軟件及現(xiàn)場運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)，科學(xué)配置；